一、仪器用途 117型测量显微镜是一种小型二维数显测量的计量仪器，仪器主要采用透、反射照明方式，通过观察和数显系统对精密件的几何量（长度、角度）进行观察、分析、测量。特别适用于大规模集成电路线宽、小型零件（如钟表零件）及其他精密件几何参数的测量。仪器可以连接CCD进行影像测量。仪器体积小、重量轻、可广泛应用于计量室、生产作业线以及科学研究部门。 

二、仪器规格 

（一）测量范围 X:150mm;Y:100mm 

（二）工作台尺寸： 355×240mm (玻璃台面尺寸：210×175mm) 

（三）数显分辨率： 0.0005mm 

（四）仪器的回程误差： 0.002mm 

（五）仪器测量准确度： ≤（3+L/25）um（L为被测长度）

（六）仪器的质量： 32.5kg 

（七）仪器外形尺寸： 420×550×600mm 

（八）输入电压： AC220/50Hz±10%（工作照明电压5V/LED） 

（九）光学基本参数 物镜 目镜 总放大倍数 工作距离 (mm) 视场直径 (mm) 放大倍数 数值孔径 焦距(mm) 放大倍数 焦距 (mm) 4×/0.1 28.8 10× 25 40× 17.50 3.40 10×/0.25 15.4 100× 11.60 1.40 40×0.65 4.4 400× 0.66 0.35 

（十）照明光源 1.反射照明： 5V， 3W （LED） 2.透射照明： 5V， 3W （LED） 3.斜射照明： 12V，50W （双卤钨灯）（选购件） 

（十一）CCD接口 采用标准C接口、可连接CCD和数码相机进行影像测量。